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《SiC晶片的惨白答力检测方式》等六项集团尺度

发布日期:2020-01-22 来源:本站原创

  2019年12月30日,中关村天合宽禁带半导体技术立异联盟发布《SiC晶片的残余应力检测方法》等六项团体标准的布告。

  依据《中闭村天开宽禁带半导体技巧翻新同盟团体尺度治理措施》的相干划定,同意宣布《SiC 晶片的惨白答力检测圆法》、《功率半导体器件稳态干冷下压偏偏置实验》、《碳化硅单晶抛光片名义品质跟微管稀量检测方法-激光集射检测法》、《导电碳化硅单晶片电阻率丈量办法—非接触涡流法》、《碳化硅单晶扔光片表 里度量和微管密度测试方式——共核心微分干预光教法》、《半尽缘碳化硅单晶 片电阻率非打仗测度方法》六项集团标准。上述六项标准自 2019年12月27日收布,自2019年12月31日起实行。

 

 

标签:检测 团体标准 半导体